Узнайте, как использование фторсодержащих газов на объекте может повысить затраты и гибкость
Производство фтора для электроники на месте
Эксплуатационные характеристики и климатические преимущества фтора для очистки микроэлектроники
Сокращение времени очистки и воздействия на окружающую среду в производстве дисплеев и полупроводников с помощью наших безопасных и надежных генераторов GENERATION F® для сверхчистого фтора
Более эффективная очистка
Наши генераторы фтора GENERATION F обеспечивают производство чистящего газа на месте для термического процесса печи, плазменной и термической очистки инструмента CVD в сухой камере. Фтор является идеальной заменой фторсодержащим газам, таким как смеси NF3, ClF3, SF6 иF2/N2, где неактивные компоненты могут ухудшить эффективность очистки.
Сверхчистый газообразный фтор, поставляемый из систем поколения F, обеспечивает превосходную эффективность очистки, более короткое время очистки, повышение производительности по сравнению с инструментами CVD, а также снижение энергопотребления и воздействия на окружающую среду благодаря нулевому потенциалу глобального потепления (ПГП).
В сложных тонкопленочных процессах фтор может поддерживать стабильную температуру в камере во время процесса очистки, что позволяет быстро вернуться к стабильной обработке осаждения.
Серия GENERATION F имеет модульную конструкцию, способную удовлетворить все требования к расходу, концентрации и объему в диапазоне от одной тонны до сотен тонн в год. Установленная база из более чем 30 систем GENERATION F по всему миру свидетельствует о гибкости и популярности этого решения. Независимо от того, работаете ли вы с одним инструментом или крупным заводом, у нас есть решение для вас.
К инновационным особенностям и преимуществам генераторов фтора GENERATION F относятся:
- Повышенная производительность благодаря более быстрой очистке при стабильных температурах
- Экологичная альтернатива газам с высоким ПГП трифториду азота (NF3) и гексафториду серы (SF6) для очистки камер CVD
- Производство по требованию, что означает очень низкую нагрузку на запасы и доставку в режиме реального времени